저압 화학증착법에 의한 SiC 증착층의 미세구조에 미치는 전체 반응압력의 영향 |
박지연, 이민용, 김원주, 김정일, 홍계원, 윤순길1 |
한국원자력연구소 기능성재료 1충남대학교 재료공학과 |
Effect of Total Reaction Pressure on the Microstructure of the SiC Deposited Layers by Low Pressure Chemical Vapor Deposition |
|
|
|
|
|
Key words:
SiC, CVD, Total reaction pressure |
|